Chikuva chekufamba cheXYT chinonyatsoshanda chinodzivirira kusvibiswa kwemuviri (Isolation motion platform) chinoita sei kuti chirambe chakanyatsojeka?

Mashandisirwo echigadziko chegranite: Granite ine hunhu hwakagadzikana zvakanyanya, chimiro chemukati chakakora uye chakafanana, kuwedzera kwekushisa kwakaderera, kuomarara kwakanyanya. Izvi zvinoita kuti chigadziko chikwanise kuparadzanisa vibration yekunze zvinobudirira, kuderedza kukanganiswa kwekuchinja kwekushisa kwemhepo pakururama kwepuratifomu, uye ine kuramba kwakanaka kwekupfekwa, kushandiswa kwenguva refu kunogonawo kuchengetedza kushanda kwakasimba kwekutsigira, zvichipa hwaro hwakasimba hwekururama kwepuratifomu.

Dhizaini yechimiro chemakanika chakanyatsogadzirwa: Chimiro chemakanika chepuratifomu chakagadzirwa nekunyatsogadziriswa, uchishandisa magwara ekutungamira akanyatsogadzirwa, masikuruu ekutungamira, mabheringi nezvimwe zvikamu zvekutumira. Nekukweshana kushoma, kuomarara kwakanyanya uye kudzokorora kwakanaka kwekufamba, zvikamu izvi zvinogona kuendesa simba nemazvo uye kudzora kufamba kwepuratifomu, zvichideredza kuunganidzwa kwezvikanganiso panguva yekufamba. Semuenzaniso, kushandiswa kwegwara rekutungamira remhepo, kushandiswa kwefirimu remhepo kutsigira kufamba kwepuratifomu, pasina kukweshana, kusakara, kunyatsojeka kwakanyanya, kunogona kuita kuti pave nekunyatsorongeka kwenzvimbo dze nanoscale.
Tekinoroji yepamusoro yekudzivirira simba remagetsi: ine sisitimu yekudzivirira simba remagetsi, kutarisa mamiriro ekutenderera kwepuratifomu panguva chaiyo kuburikidza nesensor, uye zvichienderana nemhedzisiro yekutarisa, kudzora mhinduro yeactuator, zvichigadzira simba rakapesana kana kufamba kwekunze kwekutenderera kuti kudzikamise kukanganiswa kwesimba remagetsi. Iyi tekinoroji yekudzivirira simba remagetsi inogona kuparadzanisa zvinobudirira vibration yakaderera uye yakakwira, kuitira kuti puratifomu irambe yakagadzikana munzvimbo yakaoma yekutenderera. Semuenzaniso, electromagnetic active vibration isolator ine mabhenefiti ekumhanya kwemhinduro nekukurumidza uye simba rekudzora rakarurama, izvo zvinogona kuderedza amplitude ye vibration yepuratifomu neinopfuura 80%.
Sisitimu yekudzora nemazvo: Puratifomu iyi inoshandisa sisitimu yekudzora yepamusoro, senge sisitimu yekudzora yakavakirwa padhijitari signal processor (DSP) kana field programmable gate array (FPGA), iyo ine kugona kuverenga nekukurumidza uye kutonga kwakarurama. Sisitimu yekudzora inotarisa nekugadzirisa mafambiro epuratifomu munguva chaiyo kuburikidza nemaalgorithms akarurama, uye inoita kutonga kwakanyatsojeka kwenzvimbo, kudzora kumhanya uye kudzora kukurumidza. Panguva imwe chete, sisitimu yekudzora inewo kugona kwakanaka kwekudzivirira kukanganiswa, uye inogona kushanda zvakadzikama munzvimbo dzakaoma dzemagetsi.

Kuyera sensor zvine hungwaru: Kushandiswa kwema sensor ekufambiswa kwepuratifomu zvine hungwaru, ma sensor eAngle nemimwe michina yekuyera, kuyera kwakarurama kwekufamba kwepuratifomu panguva chaiyo. Ma sensor aya anodzosera data rekuyera kusystem yekudzora, uye system yekudzora inoita kugadzirisa kwakarurama uye muripo zvichienderana nedata remhinduro kuti ive nechokwadi chekuti mafambiro epuratifomu akarurama. Semuenzaniso, laser interferometer inoshandiswa se sensor yekufambiswa kwepuratifomu, uye kuyera kwayo kwakarurama kunogona kusvika kuma nanometers, izvo zvinogona kupa ruzivo rwakarurama rwenzvimbo yekudzora kwakarurama kwepuratifomu.
Tekinoroji yekutsiva zvikanganiso: Nekutevedzera uye kuongorora zvikanganiso zvepuratifomu, tekinoroji yekutsiva zvikanganiso inoshandiswa kugadzirisa zvikanganiso. Semuenzaniso, kutadza kutwasuka kwegwara rekutungamira uye kutadza kwepitch kwe lead screw zvinoyerwa uye zvinobhadharwa kuti zvivandudze mafambiro epuratifomu. Pamusoro pezvo, maalgorithms esoftware anogonawo kushandiswa kutsiva zvikanganiso zvinokonzerwa nekuchinja kwetembiricha, kushanduka kwemutoro nezvimwe zvinhu munguva chaiyo kuti zviwedzere kuvandudza kururama kwepuratifomu.
Maitiro ekugadzira akasimba uye kudzora mhando: Mukugadzirwa kwepuratifomu, maitiro ekugadzira akasimba uye mitemo yekudzora mhando inotorwa kuti ive nechokwadi chekuti kugadzirwa kwacho kwakarurama uye mhando yekubatanidza chikamu chimwe nechimwe. Kubva pakusarudzwa kwezvinhu zvakagadzirwa kusvika pakugadzirisa, kuunganidza uye kuisirwa kwezvikamu, chinongedzo chega chega chinoongororwa uye kuyedzwa zvakasimba kuti chive nechokwadi chekuti puratifomu yacho yakanyatsojeka uye mashandiro azvo. Semuenzaniso, kugadzira zvikamu zvakakosha nemazvo kunoitwa, uye michina yepamusoro senge nzvimbo dzekugadzira dzeCNC dzinoshandiswa kuona kuti kururama kwezvikamu uye chimiro nenzvimbo zvinokwanisa kuenderana nezvinodiwa pakugadzira.