Mumaworkshop ekugadzira ma semiconductor, zvinodiwa pakugadzira ma chip kuti pave nemamiriro ekunze uye kururama kwemidziyo zvakanyanya, uye chero kutsauka kudiki kunogona kutungamira kudzikira kukuru kwekubudirira kwema chip. Chikuva chekufamba kwema gantry cheXYZT chinoshandisa zvikamu zve granite kuti chishande pamwe chete nezvimwe zvikamu zvepuratifomu kuti chivake hwaro hwakasimba hwekuwana kururama kwe nanoscale.
Hunhu hwakanaka hwekudzivirira vibration
Mumaworkshop ekugadzira ma semiconductor, mashandiro emidziyo yekunze nevashandi vanofamba-famba anogona kukonzera kudedera. Maumbirwo emukati mezvikamu zvegranite akakora uye akafanana, ane hunhu hwechisikigo hwekunyorovesa, senge "chipingamupinyi" chinoshanda zvakanaka. Kana kudedera kwekunze kukaendeswa kupuratifomu yeXYZT, chikamu chegranite chinogona kuderedza zvinodarika 80% yesimba rekudedera uye kuderedza kupindira kwekudedera pakufamba kwepuratifomu. Panguva imwe chete, puratifomu ine sisitimu yekutungamira mweya inoyerera nemazvo, inoshanda pamwe chete nezvikamu zvegranite. Gwara rekufambisa mweya rinoshandisa firimu regesi rakagadzikana rinoumbwa negasi rinomanikidzwa zvakanyanya kuti riite kufamba kwezvikamu zvinofamba zvepuratifomu uye kuderedza kudedera kudiki kunokonzerwa nekukweshana kwemakanika. Pamwe chete, vaviri ava vanovimbisa kuti kunyatsoisa puratifomu kunogara kuchichengetwa padanho re nanometer mumabasa akakosha akadai sechip lithography uye etching, uye kudzivirira kutsauka kwemapatani echip circuit anokonzerwa nekudedera.
Kugadzikana kwakanaka kwekupisa
Kuchinja-chinja kwetembiricha nehunyoro muworkshop kune simba guru pakururama kwemidziyo yekugadzira machipisi. Kuwanda kwemafuta egranite mukuwedzera kwekushisa kwakaderera zvikuru, kazhinji mu5-7 × 10⁻⁶/℃, saizi yacho haishanduke kana tembiricha ikachinja. Kunyangwe kana musiyano wetembiricha pakati pemasikati neusiku muworkshop kana kugadzirwa kwekupisa kwemidziyo kuchikonzera kuti tembiricha yemuchadenga ichinje, zvikamu zvegranite zvinogona kuramba zvakagadzikana kudzivirira kushanduka kwepuratifomu nekuda kwekuwedzera kwekupisa uye kudzikira. Panguva imwecheteyo, sisitimu yekudzora tembiricha yakangwara ine puratifomu inotarisa tembiricha yemuchadenga munguva chaiyo, inogadzirisa otomatiki michina yekutonhodza nekupisa, uye inochengetedza tembiricha yeworkshop pa20 ° C ±1 ° C. Pamwe chete nezvakanaka zvekugadzikana kwekupisa kwegranite, iva nechokwadi chekuti puratifomu iri kushanda kwenguva refu, kururama kwekufamba kweaxis yega yega kunosangana nemazinga ekugadzira machipisi echipisi, kuve nechokwadi chekuti saizi yepatani yechipisi yelithography yakarurama, kudzika kwe etching kwakaenzana.
Kusangana nezvinodiwa zvenzvimbo yakachena
Chitoro chekugadzira ma semiconductor chinofanira kuchengetedza kuchena kwakanyanya kudzivirira zvidimbu zveguruva kuti zvisasvibise chip. Granite pachayo haiburitse guruva, uye pamusoro payo pakapfava, hazvisi nyore kunyudza guruva. Puratifomu yese inoshandisa dhizaini yechivakwa chakavharwa zvizere kana kuti chakavharika zvishoma kuderedza kupinda kweguruva rekunze. Sisitimu yekutenderera kwemhepo yemukati yakabatana nesystem yemhepo yakachena yeworkshop kuona kuti kuchena kwemhepo yemukati kunosvika padanho rinodiwa nekugadzirwa kwema chip. Munzvimbo iyi yakachena, zvikamu zve granite hazvizokanganisa mashandiro nekuda kwekukukurwa kweguruva, uye zvikamu zvakakosha zvakaita sema sensors nema motors epuratifomu zvinogonawo kushanda zvakadzikama, zvichipa vimbiso yekururama kwe nanoscale inoramba iripo uye yakavimbika yekugadzira ma chip, uye kubatsira indasitiri ye semiconductor kuenda padanho repamusoro rekuita.
Nguva yekutumira: Kubvumbi-14-2025