Zvigadzirwa zveGranite zvinoshandiswa zvakanyanya mumiyeroctor indasitiri nekuda kwehunhu hwavo hwakanaka, dzakadai sokugadzikana kwakanyanya, kuwedzera kwakadzika, uye kupokana kwakanyanya kuora. Izvi zvivakwa zvinoita granite chinhu chakanakira zvinhu zvekuvaka zvakakwirira-zvakanyanyisa zvikamu mune wafer yekufambisa system.
MuMemiconductor Processing Process, iyo Werform yekufambisa System inoita basa rakaoma mukutakura wafers pamatanho akasiyana ezvikamu zvekugadzira. Kunyatsojeka uye kurongeka ndizvo zvakakosha zvinodiwa kune aya masisitimu sezvo kunyangwe kutsauka kushoma kunogona kukanganisa maitiro ese. Naizvozvo, zvikamu muWerfe zvekutamisa chinjana chinofanira kugadzirwa kubva kune yakakwirira-mhando zvinhu, uye granite inosangana neaya maitiro.
Zvimwe zvikamu zveWerfe zvekutamisa maitiro anogadzirwa kubva kune zvigadzirwa zveGranite zvinosanganisira:
1. Vacuum chuck tafura
Iyo vacuum chuck tafura inoshandiswa kubata iyo pafer panguva yekuita, uye inofanira kunge iine nzvimbo yakagadzikana kuti ive nechokwadi chekuti waffer haina kukuvara. Granite ndiyo yakanaka yekugadzira iyi tafura nekuti ine flat, isina-pous nzvimbo inopa yakakwirira kugadzikana uye chaiyo. Pamusoro pezvo, granite ine coefficient yakaderera yekuwedzera kwekuwedzera, ichiita kuti ishandise shanduko dzekushisa iyo inogona kukonzera shanduko dzeshanduko mune waffer.
2. Air-Bearing Stage
Nhanho inobereka mweya inoshandiswa kutakura chifukidzo kuburikidza nematanho akasiyana ezvigadzirwa zvekugadzira. Iyo stage ine mainjinwi kuti ipe kushoma kwekufambisa, izvo zvinoda kunyorwa kwakanyanya uye kugadzikana. Granite anoshandiswa muchirongwa ichi nekuti ibwe rakaomarara uye rakaoma, uye rinoramba kuraswa uye kupfeka nekufamba kwenguva.
3. Nhoroondo yeMotion Guides
Iyo mutsara wekufamba mafambiro anoshandiswa kutungamira nhanho inobereka mweya, uye ivo vanofanirwa kuve vakanyatsoiswa kuderedza zvikanganiso. Granite anoshandiswa kuvaka iyi gwara nekuti ine yakanakisa manhamba kugadzikana uye simba. Izvo zvinyorwa zvakare zvakabatana-zvinodzivirira, izvo zvinovimbisa hupenyu hurefu hwehungwaru.
4. Metrology Equipment
Metrology Equilogy inoshandiswa kuyera zviyero uye zvivakwa zveiyo chifukidzo panguva yekugadzira maitiro. Granite Icho Chakakodzera Chikoro chekuvaka izvi zvishandiso nekuti zvine chimiro chakakwirira, kuwedzera kwakaderera, uye kushomeka kushoma pasi pemutoro. Uyezve, kugadzikana kwaGranite kugadzikana kunozivisa kuti michina yemetrology inoramba yakagadzikana uye yakaringana nekufamba kwenguva.
Mukupedzisa, indasitiri yeSemiconductor yeSecories inovimba nekunyatsojeka uye kurongeka, uye zvigadzirwa zveGranite zvinoratidzwa kuve akavimbika uye akagadzikana mukugadzira maitiro. Nezvakawanda zvakashata zvikamu muAffer Terature System inoda kugadzikana kwakakwirira, kunyatsojeka, uye kuwanda kwekuwedzera, mainjiniya akatendeukira kuGranite zvinhu kuti zvisangane izvi zvinodikanwa.
Kutumira Nguva: Mar-19-2024