Zvinhu zvegranite zvinoshandiswa zvakanyanya muindasitiri yesemiconductor nekuda kwehunhu hwazvo hwakanaka, hwakadai sekugadzikana kwakanyanya, kuwedzera kupisa kushoma, uye kuramba ngura zvakanyanya. Hunhu uhwu hunoita kuti granite ive chinhu chakanakira kuvaka zvikamu zvine hungwaru zvakanyanya musystem yekufambisa wafer.
Mukugadzirwa kwemasemiconductor, sisitimu yekufambisa mawafer inoita basa rakakosha mukutakura mawafer mumatanho akasiyana ekugadzirwa. Kunyatsorongeka uye kurongeka ndizvo zvinodiwa zvemasisitimu aya sezvo kunyangwe kutsauka kudiki kunogona kukanganisa maitiro ese. Saka, zvikamu zviri musisitimu yekufambisa mawafer zvinofanirwa kugadzirwa nezvinhu zvemhando yepamusoro, uye granite inosangana nezvinodiwa izvozvo.
Zvimwe zvikamu zvewafer transfer system zvinogadzirwa nezvinhu zvegranite zvinosanganisira:
1. Tafura yeVacuum Chuck
Tafura ye vacuum chuck inoshandiswa kubata wafer panguva yekushanda, uye inofanira kuva nepamusoro pakasimba kuti wafer isakuvadzwe. Granite chinhu chakanakira kugadzira tafura iyi nekuti ine pamusoro payo pakadzikama, pasina maburi anopa kugadzikana kwakanyanya uye kunyatsojeka. Pamusoro pezvo, granite ine coefficient yakaderera yekuwedzera kwekupisa, zvichiita kuti irambe kushanduka kwekushisa kunogona kukonzera shanduko muwafer.
2. Danho Rinopa Mhepo
Danho rine mhepo rinoshandiswa kutakura wafer kuburikidza nematanho akasiyana ekugadzirwa. Danho iri rakagadzirwa kuti riite kuti ishande zvakanaka, izvo zvinoda kunyatsorongeka uye kugadzikana. Granite inoshandiswa mukushandisa uku nekuti idombo rakaomarara uye rakaoma, uye rinoramba kuchinja uye kusakara nekufamba kwenguva.
3. Nhungamiro dzeKufamba Kwemutsetse
Magwara ekufambisa anoshandiswa kutungamira nhanho yemhepo, uye anofanira kuiswa zvakanaka kuti aderedze zvikanganiso. Granite inoshandiswa kugadzira gwara iri nekuti ine kugadzikana kwakanaka kwemuchina uye simba. Chinhu chacho hachigoni ngura, izvo zvinoita kuti hurongwa hwekufambisa hurambe huripo kwenguva refu.
4. Midziyo yeMetrology
Midziyo yemetrology inoshandiswa kuyera saizi uye hunhu hwewafer panguva yekugadzira. Granite chinhu chakanakira kuvaka michina iyi nekuti ine kuomarara kwakanyanya, kukura kwakaderera, uye kushanduka kushoma pasi pekuremerwa. Uyezve, kugadzikana kwekupisa kwegranite kunoita kuti michina yemetrology irambe yakasimba uye yakarurama nekufamba kwenguva.
Mukupedzisa, indasitiri yesemiconductor inovimba nekunyatsorongeka uye kururama, uye zvinhu zvegranite zvaratidza kuva zvakavimbika uye zvakagadzikana mukugadzirwa. Nezvinhu zvakawanda zvakakosha musystem yekufambisa wafer zvinoda kugadzikana kwakanyanya, kunyatsorongeka, uye kuwedzera kupisa kwakaderera, mainjiniya akashandisa zvinhu zvegranite kuti vasangane nezvinodiwa izvi zvakakosha.
Nguva yekutumira: Kurume-19-2024