Wafer processing equipment inoshandiswa kugadzira microelectronics uye semiconductor madivayiri.Rudzi urwu rwemidziyo ine zvikamu zvakati wandei, kusanganisira zvikamu zvegranite.Granite chinhu chakasiyana-siyana chakashandiswa mukugadzira semiconductor yekugadzirisa michina nekuda kwekugadzikana kwayo kwemuchina, makemikari kuramba, uye kugadzikana kwedimensional.Ichi chinyorwa chichakurukura zvakanakira uye kuipa kwekushandisa granite zvikamu muwafer processing equipment.
Zvakanakira:
1. Mechanical kugadzikana: Zvikamu zvegranite zvakanyanya kugadzikana, kunyanya pakupisa kwepamusoro.Izvi zvinoita kuti zvive zvakanaka kuti zvishandiswe mumichina yekugadzira wafer, inoshanda pakupisa kwakanyanya.Zvikamu zvegranite zvinokwanisa kumira mitoro inorema, kuzununguka, uye kuvhundutsa kwemafuta pasina deformation, iyo inovimbisa kurongeka kwepamusoro uye kurongeka.
2. Chemical resistance: Granite inopesana nemakemikari akawanda anowanzoshandiswa mukugadzira wafer, kusanganisira acids, mabhesi, uye zvinonyungudutsa.Izvi zvinoita kuti wafer processing equipment ikwanise kubata corrosive agents pasina kukuvadza zvinhu zvemidziyo.
3. Dimensional kugadzikana: Zvikamu zvegranite zvine kugadzikana kwepamusoro, izvo zvinoreva kuti vanochengetedza chimiro chavo uye hukuru pasinei nekushanduka kwezvakatipoteredza sekushisa uye humidity.Izvi zvakakosha kune wafer yekugadzira michina, iyo inofanirwa kuchengetedza yakakwirira mwero wekurongeka mukugadzirisa.
4. Yakaderera coefficient of thermal expansion: Granite ine yakaderera coefficient of thermal kuwedzera, izvo zvinoreva kuti haina kuwedzera kana chibvumirano zvakanyanya kana yakasangana nekusiyana kwekushisa.Izvi zvinoita kuti ive yakakwana kune wafer yekugadzira michina iyo inoratidzwa kune yakanyanya kupisa.
5. Upenyu hurefu: Granite chinhu chakasimba uye chinogona kugara kwemakore akawanda, kunyange munzvimbo dzakaoma.Izvi zvinodzikisira mutengo wekuchengetedza michina uye kutsiva, zvichiita kuti vagadziri vagadzire mawafer emhando yepamusoro nemutengo wakaderera.
Zvakaipa:
1. Mutengo wepamusoro: Zvikamu zvegranite zvinodhura kupfuura zvimwe zvinoshandiswa mumagetsi ekugadzira wafer, zvakadai sesimbi kana aluminium.Mutengo wepamusoro wezvikamu zvegranite unowedzera mutengo wakazara wewafer kugadzirisa michina, zvichiita kuti isawanike kumabhizinesi madiki nekutanga.
2. Huremu hunorema: Granite chinhu chakaoma, uye zvikamu zvaro zvinorema kupfuura zvimwe zvinoshandiswa mukugadzira wafer michina.Izvi zvinoita kuti midziyo iwedzere uye yakaoma kufamba.
3. Zvakaoma kugadzirisa: Zvikamu zvegranite zvakaoma kugadzirisa, uye kutsiva kunowanzova sarudzo chete kana yakanganiswa.Izvi zvinowedzera imwe mari yekugadzirisa uye zvinogona kuwedzera nguva yekudzikira kwemidziyo.
4. Brittle: Pasinei nekugadzikana kwemagetsi kwechikamu chegranite, inogona kuparara kana ichiiswa pakuremerwa kwakanyanya kana kukanganisa.Zvinoda kungwarira kubata uye kurapwa kudzivirira kukuvadzwa kunogona kukanganisa iwo chaiwo zvikamu zvemidziyo.
Mukupedzisa, zvakanakira kushandisa zvimedu zvegranite muwafer processing equipment zvinodarika zvipingamupinyi.Kunyangwe paine zvimwe zvipingamupinyi, kugadzikana kwemichina, kuramba kwemakemikari, uye kugadzikana kwedimensional yezvikamu zvegranite zvinoita kuti ive chinhu chakakosha pakugadzira emhando yepamusoro mamicroelectronics uye semiconductor zvishandiso.Nekudyara muzvikamu zvegranite, vagadziri vanogona kuwana hunyanzvi, huchokwadi, uye hupenyu hurefu mumidziyo yavo yekugadzira wafer.
Nguva yekutumira: Jan-02-2024