Granite ndeimwe yezvinhu zvinobatsira zvikuru mukugadzira semiconductor. Hunhu hwayo hwakasiyana hunoita kuti ive sarudzo yakanaka kune akasiyana mashandisirwo. Zvikamu zvegranite zvinoshandiswa muzvigadzirwa zve semiconductor nekuda kwekugara kwenguva refu, kugadzikana, uye kururama kwazvo. Muchinyorwa chino, tichakurukura nzvimbo dzekushandiswa kwezvikamu zvegranite muzvigadzirwa zve semiconductor.
Imwe yenzira huru dzekushandisa zvikamu zvegranite mukugadzira ma semiconductor ndeyekugadzira wafer. Kugadzira wafer kunosanganisira matanho akasiyana-siyana, anosanganisira kuchenesa nekucheka. Zvikamu zvegranite zvinoshandiswa mukuita uku nekuda kwekusagona kwadzo kushandisa makemikari zvakanyanya. Zvakare dzakati sandara zvinoshamisa izvo zvinoita kuti dzive dzakakodzera kushandiswa mukugadzira wafer sezvo dzichipa nzvimbo yakagadzikana yekuti wafer dzigare pairi.
Pamusoro pekugadzirisa wafer, zvikamu zvegranite zvinoshandiswawo mu lithography. Lithography inosanganisira kutema pattern pa wafer uchishandisa chiedza. Zvikamu zvegranite zvinoshandiswa mukuita uku nekuda kwekugadzikana uye kururama kwazvo. Zvinopa hwaro hwakagadzikana zvikuru hwewafer uye zvinobatsirawo kuona kuti pattern yacho yakanyatsogadzirwa pa wafer.
Imwe nzira inoshandiswa mukugadzira zvinhu zvegranite mukugadzirwa kwezvinhu zve semiconductor ndeye metrology. Metrology inosanganisira kuyerwa kwezvikamu zvakasiyana-siyana zvakaita seukobvu uye kurongeka. Zvinhu zvegranite zvinoshandiswa mu metrology nekuda kwekururama kwazvo. Zvakagadzikanawo zvikuru izvo zvinobatsira kuona kuti zviyero zvinotorwa zvakarurama uye zvakavimbika.
Zvikamu zvegranite zvinoshandiswawo mumasisitimu evacuum. Masisitimu evacuum anoshandiswa mukugadzira masemiconductor kugadzira nzvimbo inodzorwa yemaitiro akasiyana-siyana. Zvikamu zvegranite zvinoshandiswa mumasisitimu aya nekuda kwekuvimbika kwazvo kwevacuum. Zvakare zvinogara kwenguva refu izvo zvinoita kuti zvive zvakanaka kushandiswa mumasisitimu evacuum.
Chekupedzisira, zvikamu zvegranite zvinoshandiswawo mumidziyo yakaita seyekuongorora mawafer uye masisitimu ekuyedza. Masisitimu aya anoshandiswa kutarisa mhando yemawafer uye kuona kuti anosangana nezvinodiwa. Zvikamu zvegranite zvinoshandiswa mumasisitimu aya nekuda kwekugadzikana uye kururama kwawo. Anopa hwaro hwakagadzikana zvikuru hwemawafer izvo zvinobatsira kuona kuti kuongorora kwacho kwakarurama.
Mukupedzisa, zvikamu zvegranite zvakakosha muzvigadzirwa zvekugadzira zve semiconductor. Zvakasimba zvikuru, zvakagadzikana, uye zvakarurama izvo zvinoita kuti zvive zvakanaka kushandiswa mumhando dzakasiyana-siyana dzekushandisa. Izvi zvinosanganisira kugadzirisa wafer, lithography, metrology, vacuum systems, uye michina yakaita se wafer inspection and testing systems. Kushandiswa kwezvikamu zvegranite hakungovimbisi chete kuti mhando yechigadzirwa chekupedzisira yakakwira asiwo kunoita kuti maitiro ekugadzira ave anoshanda uye akavimbika.
Nguva yekutumira: Zvita-05-2023