Muchinongedzo chikuru chekugadzira machipisi - kuskena mawafer, kururama kwemuchina ndiko kunosarudza mhando yechipisi. Sechinhu chakakosha chemuchina, dambudziko rekuwedzera kupisa kwechigadziko chemuchina wegranite rakakwezva vanhu vakawanda.
Kuwanda kwekuwedzera kwegranite mukupisa kunowanzova pakati pe4 ne8×10⁻⁶/℃, izvo zvakaderera zvikuru pane zvesimbi nemabhura. Izvi zvinoreva kuti kana tembiricha ikachinja, saizi yayo inochinja zvishoma. Zvisinei, zvinofanira kucherechedzwa kuti kuwedzera kwekupisa kushoma hazvirevi kuti hapana kuwedzera kwekupisa. Kana tembiricha ikachinja zvakanyanya, kunyangwe kuwedzera kudiki kunogona kukanganisa kunyatsojeka kwewafer scanning.
Munguva yekuskena wafer, pane zvikonzero zvakawanda zvinoita kuti pave nekuwedzera kwekupisa. Kuchinja-chinja kwekushisa muworkshop, kupisa kunokonzerwa nekushanda kwezvikamu zvemichina, uye kupisa kwakanyanya kunokonzerwa nekushandiswa kwelaser zvese zvinoita kuti granite base "iwedzere uye iderere nekuda kwekuchinja kwekupisa". Kana hwaro hwacho hwava kuwedzera kupisa, kutwasuka kweguide rail uye kutsetseka kwepuratifomu zvinogona kutsauka, zvichikonzera kufamba kusina kururama kwetafura yewafer. Zvikamu zvinotsigira optical zvichachinjawo, zvichiita kuti scanning beam "iderere". Kushanda nguva dzose kwenguva yakareba kuchaunganidzawo zvikanganiso, zvichiita kuti kururama kuwedzere kuipa.
Asi musazvidya moyo. Vanhu vatova nemhinduro. Panyaya yezvinhu, mitsipa yegranite ine coefficient yakaderera yekuwedzera kwekupisa ichasarudzwa uye icharapwa nekukwegura. Panyaya yekudzora tembiricha, tembiricha yeworkshop inodzorwa nemazvo pa23±0.5℃ kana kutodzikira, uye mudziyo unoshanda wekubvisa kupisa uchagadzirwawo pachigadziko. Panyaya yekugadzirwa kwechivako, zvivakwa zvakafanana uye zvinotsigira zvinochinjika zvinotorwa, uye kutarisa panguva chaiyo kunoitwa kuburikidza ne sensor dzetembiricha. Zvikanganiso zvinokonzerwa nekushanduka kwekupisa zvinogadziriswa nenzira inochinja-chinja ne algorithms.
Midziyo yepamusoro-soro yakaita semichina yeASML lithography, kuburikidza nenzira idzi, inochengetedza simba rekuwedzera kwegranite mukati mechikamu chidiki kwazvo, zvichiita kuti kunyatsoongorora wafer kusvike padanho re nanometer. Saka, chero bedzi ichidzorwa nemazvo, granite base inoramba iri sarudzo yakavimbika yemichina yekuongorora wafer.
Nguva yekutumira: Chikumi-12-2025