Zvikamu zvegranite zvave zvichishandiswa zvakanyanya mukugadzirwa kwema semiconductor nekuda kwehunhu hwazvo hwakanaka hwakadai sekupedzwa kwepamusoro-soro kwechinhu, kuomarara kwakanyanya, uye kunyorovesa kwakanyanya. Zvikamu zvegranite zvakakosha pamidziyo yekugadzira ma semiconductor, kusanganisira michina ye lithography, michina yekupolisha, uye masisitimu emetrology sezvo zvichipa nzvimbo chaiyo uye kugadzikana panguva yekugadzira. Pasinei nezvakanaka zvese zvekushandisa zvikamu zvegranite, zvinewo zvikanganiso. Muchinyorwa chino, tichakurukura zvikanganiso zvezvikamu zvegranite zvezvigadzirwa zve semiconductor manufacturing process.
Chekutanga, zvikamu zvegranite zvine mwero wekuwedzera kwekupisa. Zvinoreva kuti zvinokura zvakanyanya pasi pekumanikidzwa kwekupisa, izvo zvinogona kukonzera matambudziko panguva yekugadzira. Maitiro ekugadzira semiconductor anoda kunyatsojeka uye kurongeka kwezvikamu izvo zvinogona kukanganiswa nekuda kwekumanikidzwa kwekupisa. Semuenzaniso, kushanduka kwesilicon wafer nekuda kwekuwedzera kwekupisa kunogona kukonzera matambudziko ekuenderana panguva ye lithography, izvo zvinogona kukanganisa kunaka kwemudziyo we semiconductor.
Chechipiri, zvikamu zvegranite zvine zvikanganiso zvekupinza zvinogona kukonzera kubuda kwevacuum mukugadzirwa kwe semiconductor. Kuvapo kwemhepo kana chero imwe gasi musystem kunogona kukonzera kusvibiswa pamusoro pewafer, zvichikonzera zvikanganiso zvinogona kukanganisa mashandiro emudziyo we semiconductor. Magasi asina simba akadai se argon ne helium anogona kupinda muzvikamu zvegranite zvine zvidimbu uye kugadzira mabubble egasi anogona kukanganisa kunaka kwekushanda kwevacuum.
Chechitatu, zvikamu zvegranite zvine maburi madiki anogona kukanganisa kunyatsogadzirwa kwemuchina. Granite chinhu chinopwanyika chinogona kukonzera maburi madiki nekufamba kwenguva, kunyanya kana chikasangana nezvinetso zvinogara zvichiitika. Kuvapo kwemaburi madiki kunogona kukonzera kusagadzikana kwehukuru, zvichikonzera matambudziko makuru panguva yekugadzira, akadai se lithography alignment kana wafer polishing.
Chechina, zvikamu zvegranite zvine kuchinjika kushoma. Maitiro ekugadzira semiconductor anoda michina inochinjika inogona kugamuchira shanduko dzakasiyana dzemaitiro. Zvisinei, zvikamu zvegranite zvakaoma uye hazvigone kuchinjika kune shanduko dzakasiyana dzemaitiro. Nokudaro, chero shanduko mumaitiro ekugadzira dzinoda kubviswa kana kutsiviwa kwezvikamu zvegranite, zvichikonzera kutadza kushanda uye zvichikanganisa kugadzirwa.
Cheshanu, zvikamu zvegranite zvinoda kubatwa nekufambiswa kwakakosha nekuda kwehuremu hwazvo uye kusasimba kwazvo. Granite ichinhu chakakora uye chinorema chinoda michina yekubata yakagadzirwa nehunyanzvi senge macrane nema lifters. Pamusoro pezvo, zvikamu zvegranite zvinoda kurongedza nekunyatsotakurwa kudzivirira kukuvara panguva yekutumira, zvichikonzera mari yakawanda nenguva.
Mukupedzisa, zvikamu zvegranite zvine zvimwe zvipingamupinyi zvinogona kukanganisa kunaka uye kubereka kwezvigadzirwa zve semiconductor. Zvikanganiso izvi zvinogona kuderedzwa kuburikidza nekubata nekungwarira nekugadzirisa zvikamu zvegranite, kusanganisira kuongorora nguva nenguva kuti uone kana paine maburi madiki uye maburi madiki, kucheneswa kwakakodzera kudzivirira kusvibiswa, uye kubata nekungwarira panguva yekufambisa. Pasinei nezvikanganiso, zvikamu zvegranite zvinoramba zviri chikamu chakakosha chekugadzirwa kwe semiconductor nekuda kwekunaka kwazvo kwekupenya kwazvo pamusoro, kuomarara kwakanyanya, uye kudzikamisa kwakanaka kwe vibration.
Nguva yekutumira: Zvita-05-2023