Zvikamu zvegranite zvakashandiswa zvakanyanya mukuita semiconductor yekugadzira nekuda kweakanakisa hunhu senge yepamusoro pepamusoro pekupedzisira, kuoma kwepamusoro, uye yakanakisa vibration kunyorova.Zvikamu zvegranite zvakakosha pamidziyo yekugadzira semiconductor, kusanganisira michina yelithography, michina yekupolisha, uye metrology masisitimu sezvo vachipa chaiyo chinzvimbo uye kugadzikana panguva yekugadzira.Pasinei nezvose zvakanakira kushandisa granite zvikamu, ivo vanewo zvikanganiso.Muchikamu chino, isu tichakurukura kukanganisa kwegranite zvikamu zve semiconductor yekugadzira process zvigadzirwa.
Kutanga, zvikamu zvegranite zvine hupamhi hwekuwedzera kwemafuta ekuwedzera.Zvinoreva kuti ivo vanowedzera zvakanyanya pasi pekunetseka kwekupisa, izvo zvinogona kukonzera nyaya panguva yekugadzira.Iyo semiconductor yekugadzira maitiro inoda kurongeka kwepamusoro uye kurongeka kwedimensional iyo inogona kukanganiswa nekuda kwekushushikana kwekupisa.Semuyenzaniso, silicon wafer deformation nekuda kwekuwedzera kwekupisa kunogona kukonzera nyaya dzekuenzanisa panguva yelithography, izvo zvinogona kukanganisa kunaka kweiyo semiconductor mudziyo.
Chechipiri, zvikamu zvegranite zvine porosity defects izvo zvinogona kukonzera vacuum kuvuza mune semiconductor yekugadzira maitiro.Kuvepo kwemhepo kana chero gasi musystem kunogona kukonzera kusvibiswa pamusoro pewafer, zvichikonzera kukanganisa kunogona kukanganisa kuita kwe semiconductor mudziyo.Inert magasi akadai argon uye helium anogona kupinda mu porous granite components uye kugadzira gasi mabubbles anogona kukanganisa vacuum maitiro akavimbika.
Chechitatu, zvikamu zvegranite zvine microfractures zvinogona kukanganisa maitiro ekugadzira.Granite chinhu chine brittle chinogona kukudziridza microfractures nekufamba kwenguva, kunyanya kana ichiratidzwa kune inogara ichinetsekana kutenderera.Kuvapo kwema microfractures kunogona kukonzera kusagadzikana kwedimensional, zvichikonzera nyaya dzakakosha panguva yekugadzira, senge lithography alignment kana wafer polishing.
Chechina, zvikamu zvegranite zvine zvishoma kushanduka.Iyo semiconductor yekugadzira maitiro inoda inochinjika michina inogona kugadzirisa akasiyana maitiro shanduko.Nekudaro, zvikamu zvegranite zvakaomarara uye hazvigone kuchinjika kune akasiyana maitiro shanduko.Naizvozvo, chero shanduko mukugadzirwa kwekugadzira kunoda kubviswa kana kutsiviwa kwezvikamu zvegranite, zvinotungamira kuderera uye kukanganisa chibereko.
Chechishanu, zvikamu zvegranite zvinoda kubata kwakakosha uye kufambisa nekuda kwehuremu hwavo uye kusasimba.Granite chinhu chakakora uye chinorema chinoda hunyanzvi hwekubata midziyo yakadai sema cranes nema lifter.Pamusoro pezvo, zvikamu zvegranite zvinoda kunyatsorongedza uye kutakura kudzivirira kukuvadzwa panguva yekutumira, zvichitungamira kune imwe mari uye nguva.
Mukupedzisa, zvikamu zvegranite zvine zvimwe zvipingamupinyi zvinogona kukanganisa semiconductor kugadzira zvigadzirwa zvemhando uye kugadzirwa.Kukanganisika uku kunogona kudzikiswa kuburikidza nekunyatsobata nekugadzirisa zvinhu zvegranite, kusanganisira kuongorora nguva nenguva kwemicrofractures uye porosity defects, kuchenesa kwakaringana kudzivirira kusvibiswa, uye kunyatsobata panguva yekufambisa.Pasinei nekuremara, zvikamu zvegranite zvinoramba zviri chikamu chakakosha chekugadzira semiconductor nekuda kwekupedza kwavo kwepamusoro, kuoma kwepamusoro, uye kunyorova kwakanakisa kwekudengenyeka.
Nguva yekutumira: Zvita-05-2023