Indasitiri yepasi rose ye semiconductor iri kufamba munguva yekunyatsojeka kusati kwamboitika. Sezvo saizi dzezvinhu zviri pa silicon wafers dzichiderera kusvika kuma node e 2nm ne 1nm, mukana wekukanganisa mu metrology nekuongorora watopera zvachose. Mukati memamiriro ezvinhu aya akakosha, kunyangwe masisitimu e optical ne electron-beam akavimbika chete semapuratifomu aanogara. Izvi zvakakonzera shanduko huru muindasitiri yese: kuwedzera kuvimba pagranite isina magnetic yekutarisa wafersenzvimbo huru yekuyedza ine simba guru.
Kwemakumi emakore, granite yechisikigo yave iri "chiyero chegoridhe" cheinjiniya yekunyatsojeka nekuda kwekudzikisa kwayo vibration uye kuwedzera kwekushisa kwakaderera. Zvisinei, kana tichitarisa kuongororwa kwewafer yemazuva ano, granite yese haigadzirwe zvakaenzana. Kuvapo kwesimbi kana maminerari emagineti mumatombo emhando yepamusoro kunogona kugadzira kupindirana kwesimba remagineti munzvimbo. Kune masisitimu anoshandisa maerekitironi kana masensa emagetsi anonzwa, kupindirana kwakadaro kune njodzi huru, zvichikonzera kutsauka kwemwaranzi uye kusarongeka kwekuyera izvo zvinokanganisa maitiro ese ekudzora mhando.
ZHHIMG yapedza makore ichigadzirisa maitiro ekusarudza kuti iwane maumbirwo ejiyoloji ane simba shoma remagineti. Nekupa mukana wechokwadi wekuwanagranite isina magnetic yekutarisa wafer, tinogonesa vagadziri vemidziyo kuti vakwanise kukwidza miganhu yekugadziriswa pasina "ruzha" rusingawanzoitiki runotambudza zvinhu zvisina basa. Iyi hunyanzvi hwehunyanzvi ndiyo inoparadzanisa chishandiso chekuongorora chakajairwa kubva kune chepasi rose chemetrology chinogona kuchengetedza kudzokorora kwe sub-nanometer.
Kufanana nezvinodiwa zvemagineti pane kudiwa kusingakurukuriranwe kwekuchena kwezvakatipoteredza. Mune Fab yemazuva ano, puratifomu haifanire kungoramba yakamira; inofanira kuramba "isingaonekwe" nezvakatipoteredza. Apa ndipo pane pfungwa yechikuva chegranite chinoenderana nekamuri rekuchenesazvinova zvakakosha. Zvinhu zvemaindasitiri zvechinyakare zvinowanzokundikana munzvimbo dzine vacuum kana dzakachena zvakanyanya nekuda kwekubuda kwegasi—kuburitswa kwemagasi akabatwa kana makemikari anoshanduka anogona kusvibisa optics kana kugara pamusoro pewafer, zvichikonzera "zvikanganiso zvinouraya" zvinoparadza.
Unyanzvi hweinjiniya hweZHHIMG hunobata pamusoro pegranite sechinhu chinoshanda zvakanyanya kwete sechinhu chisingachinji chematombo. Kugadziriswa kwedu kwakasarudzika kunovimbisa kuti zvesechikuva chegranite chinoenderana nekamuri rekuchenesainochenurwa zvakasimba uye inovhara zvinhu nenzira yakarongeka yakagadzirirwa kubvisa kudonha kwezvidimbu zvidiki. Kusimba uku kwezvinhu kwakakosha pakushandisa lithography nekuongorora zvishandiso zvinoshanda mumakamuri ekuchenesa eClass 1 kana ISO 3, uko kunyange chidimbu chimwe chete chinogona kukonzera kurasikirwa nezviuru zvemadhora.
Kupfuura hunhu hwedombo pacharo, kubatanidzwa kwegranite mukugadzirwa kwemuchina kwakakura kunoda kunzwisisa kwakadzama kwemaitiro ekuvaka. Makambani makuru eEuropean neAmerica esemiconductor OEM haachatsvagi vatengesi vari nyore; vari kutsvaga vadyidzani vanoshanda pamwe chete vanonzwisisa kushushikana kwekupisa uye kwemuchina kwekubata wafer nekukurumidza maawa makumi maviri nemana pazuva, mazuva manomwe pasvondo. Hunyanzvi hweZHHIMG mukugadzirisa nekunyatsorongedza uye kugadzira zvinhu zvinobvumira kubatanidzwa kwematanho ane mhepo uye mota dzakatwasuka zvakananga pachigadziko chegranite, zvichigadzira sisitimu yakabatana inoderedza zvikanganiso zve stack-up.
Sezvatinotarisa ramangwana reindasitiri, basa rehwaro hwekuvaka richawedzera kukosha. Nekuuya kweHigh-NA EUV lithography uye 3D NAND scaling, huwandu nekugadzikana kwegranite isina magnetic yekutarisa waferMapuratifomu anofanirwa kushanduka kuti akwanise kubata nekukurumidzira kwakanyanya uye mutoro wekupisa wakaoma. ZHHIMG iri pamberi pekushanduka uku, ichiisa mari mumaturusi epamusoro ekuongorora kuti zvinhu zvienderane uye zvinoenderana nekutsungirira kwaifungidzirwa kuti hazvigoneki makore gumi apfuura.
Kuzvipira kuita basa rakanaka paZHHIMG kunokonzerwa nekunzwisisa kuti munyika yesemiconductor, kugadzikana ndiko kunotungamira pakugadzira zvinhu zvitsva.chikuva chegranite chinoenderana nekamuri rekuchenesaHazvisi kungotenga chete; asi kutenga zvinhu kunoda kuti mutsetse wekugadzira ugare wakavimbika kwenguva refu. Nekubvisa kukanganiswa kwemagineti uye kusvibiswa kwezvikamu panobva zvinhu, ZHHIMG inopa nharaunda yakanyarara, yakachena, uye yakagadzikana iyo machipisi emangwana anoda.
Kumasangano ari kuedza kugadzirisa huwandu hwekuongorora kwavo uye kuderedza mari yese yekuva muridzi wemidziyo yavo yemetrology, kusarudza zvinhu zvekutanga ndicho chisarudzo chakakosha muchikamu chekugadzira. ZHHIMG inoramba ichitsigira vatungamiriri vepasi rose nekupa zvikamu zvematombo zvinosangana nezvinodiwa pasi rose zvekuchena uye kunyatsojeka.
Munyika inoonekwa ne microscopic, kugadzikana kukuru kwegranite yeZHHIMG kunoramba kuri muchengeti wenguva yedhijitari. Tinokoka mainjiniya ekugadzira zvinhu nevagadziri vemidziyo kuti vaongorore kuti sainzi yedu yezvigadzirwa inogona sei kutsanangura patsva miganhu yezvingaitwa nemasisitimu avo ekuongorora.
Nguva yekutumira: Kurume-05-2026